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微細(xì)加工技術(shù)雜志發(fā)文分析
微細(xì)加工技術(shù)主要機(jī)構(gòu)發(fā)文分析
| 機(jī)構(gòu)名稱 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學(xué)院 | 192 | 光刻；電子束曝光；曝光機(jī)；電子束曝光機(jī)；掩模 |
| 上海交通大學(xué) | 129 | 微機(jī)電系統(tǒng)；電系統(tǒng)；機(jī)電系統(tǒng)；MEMS；刻蝕 |
| 清華大學(xué) | 60 | 微細(xì)；光刻；微細(xì)加工；離子束；聚焦離子束 |
| 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) | 47 | 刻蝕；離子束；離子束刻蝕；光刻；衍射 |
| 電子工業(yè)部 | 46 | 離子注入；注入機(jī)；離子注入機(jī)；半導(dǎo)體；電路 |
| 中國科學(xué)院微電子研究所 | 38 | 光刻；掩模；X射線光刻；電子束曝光；分辨率 |
| 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與... | 34 | 光柵；MEMS；刻蝕；光刻；傳感 |
| 山東大學(xué) | 29 | 電子束；電子束曝光；曝光機(jī)；電子束光刻；電子束曝光機(jī) |
| 山東工業(yè)大學(xué) | 28 | 電子束曝光；曝光機(jī)；電子束曝光機(jī)；電子束；電路 |
| 華中理工大學(xué) | 26 | 刻蝕；濺射；半導(dǎo)體；等離子體；離子束 |
《微細(xì)加工技術(shù)》雜志是由中國電子科技集團(tuán)公司第48研究所主辦的雙月刊，審稿周期預(yù)計為3-6個月。該雜志的欄目設(shè)置豐富多樣，涵蓋綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)、納米技術(shù)等。
該雜志為學(xué)者們提供了一個交流學(xué)術(shù)成果和經(jīng)驗的平臺，發(fā)表的文章具有較高的學(xué)術(shù)水平和實踐價值，為讀者提供更多的實踐案例和行業(yè)信息，得到了廣大讀者的廣泛關(guān)注和引用。
