《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》雜志在中科院分區(qū)中是4區(qū)。

這表明《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》雜志在工程技術(shù)領(lǐng)域具有較高的學(xué)術(shù)水平和影響力，其發(fā)表的論文質(zhì)量和數(shù)量均得到了學(xué)術(shù)界的廣泛認(rèn)可。

根據(jù)最新的數(shù)據(jù)，該雜志的CiteScore指數(shù)統(tǒng)計(jì)為2.7，SJR：0.328，SNIP：0.702，（學(xué)科類別：大類：Engineering 小類：Electrical and Electronic Engineering，分區(qū)：Q3，學(xué)科類別：大類：Engineering 小類：Materials Chemistry，分區(qū)：Q3，學(xué)科類別：大類：Engineering 小類：Instrumentation，分區(qū)：Q3，學(xué)科類別：大類：Engineering 小類：Surfaces, Coatings and Films，分區(qū)：Q3，學(xué)科類別：大類：Engineering 小類：Electronic, Optical and Magnetic Materials，分區(qū)：Q3，學(xué)科類別：大類：Engineering 小類：Process Chemistry and Technology，分區(qū)：Q3）這表明該雜志在工程：電子與電氣領(lǐng)域具有較高的學(xué)術(shù)影響力和引用率。

《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》雜志由AVS Science and Technology Society出版商出版。作為一本享有盛譽(yù)的學(xué)術(shù)期刊，它致力于及時(shí)、準(zhǔn)確、全面地報(bào)道國(guó)內(nèi)外ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工程：電子與電氣工作者在該領(lǐng)域的科學(xué)研究、技術(shù)革新和學(xué)術(shù)動(dòng)態(tài)。

該雜志的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)稱是J VAC SCI TECHNOL B，其ISSN號(hào)為2166-2746（印刷版）和E-ISSN號(hào)為2166-2754（電子版），該雜志歡迎涉及工程技術(shù)領(lǐng)域的原創(chuàng)理論、方法、技術(shù)和重要應(yīng)用的稿件，并刊載了涉及工程技術(shù)領(lǐng)域的相關(guān)欄目：綜述、論著、述評(píng)、論著摘要等。